2025年6月13日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获上交所受理，拟募资15.5亿元。此次募集资金扣除发行费用后，将全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目以及补充流动资金。具体情况如下：沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目：拟投入1.4亿元，用于扩大半导体射频电源系统的生产规模。半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目：投资金额为6.9亿元，旨在建设智能化生产运营基地，提升核心零部件的生产能力和效率。研发与前沿技术创新中心项目：计划投入3.5亿元，专注于下一代产品研发，如低频大功率等离子体射频电源、远程等离子体源等新产品，以巩固公司技术领先地位。营销及技术支持中心项目：拟使用1.2亿元，通过在长三角、珠三角等关键区域建立营销及技术支持中心，以便直接与终端晶圆厂沟通，为客户提供精准和定制化的技术服务。补充流动资金：拟使用2.5亿元，用于满足公司业务规模扩大带来的营运资金需求，为研发投入及业务增长提供资金保障。恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主营产品为射频电源系统。2022年至2024年，其营业收入和扣非归母净利润复合增长率分别达到了84.91%和156.72%。根据弗若斯特沙利文统计，2023年，恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一。
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